If you do not find what you're looking for, you can use more accurate words.
ثلاثي فلوريد النتروجين هو مركب كيميائي من عنصري النتروجين والفلور، له الصيغة الكيميائية NF3، ويكون على شكل غاز عديم اللون.
يحضر ثلاثي فلوريد النتروجين من التفاعل الحفزي للأمونياك مع غاز الفلور:
أو من التحليل الكهربائي لمصهور بيفلوريدات الأمونيوم.
لا يمكن إجراء عملية التحضير للمركب من التفاعل المباشر للعناصر المكوّنة إلا تحت ظروف تفاعلية قاسية تتطلب إجراء عملية تفريغ كهربائي تحت ضغط ودرجات حرارة مرتفعة.
يستخدم ثلاثي فلوريد النتروجين في صناعة أشباه الموصلات وخاصة من أجل إنتاج الشاشات المسطحة والخلايا الشمسية وذلك من أجل تنظيف السطوح (تنميش بالبلازما) لعملية الترسيب الكيميائي للبخار المدعم بالبلازما لمركبات السيليكون (السيليسيوم)، مثل ثنائي أكسيد السيليكون ونتريد السيليكون.