كتب photoresist mode
اذا لم تجد ما تبحث عنه يمكنك استخدام كلمات أكثر دقة.
وضع المادة المقاومة للضوء (معلومة)
في هذه المرحلة، تغطى سطح الشريحة الرقيقة بطبقة من مادة مقاومة للضوء عن طريق تقنية الطلاء المغزلي حيث يتم توزيع محلول مائي من هذه المادة على سطح الشريحة ثم يتم تدوير قاعدة حمل الشريحة بسرعات عالية لتكوين طبقة منتظمة ومستوية من المادة. وفي العادة يتم تدوير الشريحة بسرعات من 1200 إلى 4800 لفة / دقيقة لفترة زمنية تتراوح من 30 إلى 60 ثانية، لإنتاج طبقة من المادة المقاومة للضوء يتراوح سمكها من 0.5 إلى 2.5 ميكرومتر. ويعمل المحلول الكيميائي المذكور في الفقرة السابقة على تأكيد عملية التصاق هذه المادة مع سطح الشريحة. وعند الالتزام الدقيق بكل ظروف التشغيل السابق ذكرها فإن عدم الانتظام في استواء الطبقة المتكونة يترواح بين 5 إلى 10 نانومتر. وقد أمكن تفسير الحصول على هذه الطبقة عالية الاستواء عن طريق النمذجة والمحاكاة الحاسوبية لحركة السائل اللزج على سطح الشريحة (ميكانيكا الموائع) والتي تبين أن السائل في أعلى الطبقة يتحرك بسرعة أكبر بكثير منها في أسفل الطبقة، حيث تعوق قوى اللزوجة السائل من الحركة بحرية عن طريق ربط جزيئاته مع تلك الموجودة على سطح الشريحة. وبالتالي فإن الطبقة العليا من المادة يتم قذفها بسرعة عالية إلى حواف الشريحة بينما لا تزال الطبقة السفلى تزحف بسرعة أقل منتشرة ببطء بصورة قطرية على امتداد جسم الشريحة. وبهذه الطريقة يتم إزالة أي نتوءات أو ارتفاعات من المادة تاركة وراءها طبقة شديدة الاستواء على سطح الشريحة.
وفي نهاية هذه المرحلة يتم تسخين الشريحة الرقيقة عند درجة حرارة تتراوح من 90 إلى 100 درجة مئوية لمدة زمنية تترواح من 30 إلى 60 ثانية باستخدام جهاز لوح التسخين وذلك لضمان تخلص سطح الشريحة من أى شوائب أو زوائد للمادة السائلة.
![Elucidationes in Novum Testamentum [محرر. بواسطة ليدنت].](/publice/covers_cache_jpg/21/6/a/a/7800c3ba2c6aabe481478f8c191f53ae.jpg.jpg "Elucidationes in Novum Testamentum [محرر. بواسطة ليدنت].")
![Eclogae السابق Q. Horatii Flacci poematibus [محرر. بواسطة AW Zumpt].](/publice/covers_cache_jpg/21/6/f/b/4cb943cee36fbd4e8d5795979032cdca.jpg.jpg "Eclogae السابق Q. Horatii Flacci poematibus [محرر. بواسطة AW Zumpt].")
