اذا لم تجد ما تبحث عنه يمكنك استخدام كلمات أكثر دقة.
يمكن إرجاع أصول المعالج الصغري إلى اختراع موسفت (ترانزستور تأثير مجال أشباه الموصلات - تأثير الحقل)، المعروف أيضًا باسم الترانزستور موس الذي اخترعه محمد عطا الله ودون كانغ في مختبرات بيل في عام 1959، وقد ظهرت لأول مرة في عام 1960. في نفس العام، اقترح عطا الله مفهوم الدارة المتكاملة موسفت، والتي كانت رقاقة دارة متكاملة مصنعة من ترانزستورات موسفت. وبحلول عام 1964، وصلت رقائق الموسفت إلى أعلى كثافة ترانزستور وأقل تكاليف تصنيع مقارنة بالرقائق ثنائية القطب. ازدادت رقائق الموسفت تعقيدًا بمعدل تنبأ به قانون مور، ما أدى إلى تكامل واسع النطاق (LSI) مع مئات الترانزستورات على شريحة موسفت واحدة بحلول أواخر الستينيات. كان تطبيق رقائق الموسفت للدارات المتكاملة على الحوسبة أساسًا للمعالجات الصغرية الأولى، إذ بدأ المهندسون في إدراك أنه يمكن احتواء معالج كمبيوتر متكامل على شريحة موسفت واحدة.
جرى تطوير أول معالجات دقيقة متعددة الشرائح، أنظمة AL1 رباعية الطور في عام 1969 وأنظمة Garrett AiResearch MP944 في عام 1970، وذلك باستخدام رقائق موسفت للدارات المتكاملة متعددة. كان أول معالج دقيق أحادي الشريحة إنتل 4004، الذي جرى إصداره على شريحة موسفت واحدة في عام 1971. جرى تصميم المعالج الدقيق أحادي الشريحة في عام 1969 بواسطة ماريسان هوف. كان مفهومه جزءًا من طلب من شركة بوزيكوم اليابانية للحصول على آلة حاسبة إلكترونية قابلة للبرمجة على سطح المكتب، والتي أراد هوف أن يبنيها بأقل تكلفة ممكنة. كان أول إدراك للمعالج الدقيق أحادي الشريحة في معالج إنتل 4004، وهو معالج 4 بت أُصدر على شريحة موسفت واحدة في عام 1971. وجرى تطويره بواسطة فيدريكو فاجين باستخدام تقنية موسفت الخاصة ببوابة السيليكون، مهندسي إنتل؛ هوف وستان مازور، والمهندس بوسيكوم ماساتوشي شيما. فتح هذا الباب أمام تطور الكمبيوتر الشخصي. في عام 1973، أتاح معالج إنتل 8080، وهو معالج من 8 بتات، تصنيع أول جهاز كمبيوتر شخصي، ألتير 8800. أُعلن عن أول جهاز كمبيوتر لعامة الناس على غلاف عدد شهر يناير لعام 1975 من مجلة الإلكترونيات العامة.
يتخصص العديد من مهندسي الإلكترونيات اليوم في تطوير برامج الأنظمة الإلكترونية القائمة على المعالجات الدقيقة، والمعروفة باسم الأنظمة المدمجة. ظهرت التخصصات المختلطة مثل هندسة الحاسوب بسبب المعرفة التفصيلية بالأجهزة اللازمة للعمل على مثل هذه الأنظمة. لا يقوم مهندسو البرمجيات عادةً بدراسة المعالجات الدقيقة بنفس مستوى مهندسي الكمبيوتر والإلكترونيات. يشار إلى المهندسين الذين يضطلعون حصريًا بدور برمجة الأنظمة المدمجة أو المعالجات الدقيقة باسم "مهندسو الأنظمة المدمجة" أو "مهندسو البرامج الثابتة".