اذا لم تجد ما تبحث عنه يمكنك استخدام كلمات أكثر دقة.
(ملف :أنظر الشكل في الصفحة الألمانية)
ويحدد نوع الجزئي المستخدم طول الموجة لليزر إكسيمر. وتعبأ الغازات المستخدمة في زجاجات بأسطونانة جهاز الليزر التي ينتج فيه الإكسيمر. ويجب تجديد مخلوط الغازات بين حين وآخر حيث أن خواص المخلوط تتغير بالاستخدام وأيضا تتغير أثناء أوقات عدم الاستخدام، وتقل طاقة النبضات إلى حد ليس مرضيا.