اذا لم تجد ما تبحث عنه يمكنك استخدام كلمات أكثر دقة.
بعد الانتهاء من مرحلة الحفر والتشكيل، تصبح المادة المقاومة للضوء عديمة الفائدة ويجب ازالتها من على سطح الشريحة. ويتم هذا عادة باستخدام محلول كيميائي يقوم بتغيير الخصائص الكيميائية للمادة بحيث تفقد ميزة الالتصاق بسطح الشريحة. ويمكن أيضا استخدام مصدر البلازما المحتوي على غاز الاكسجين لا زالة المادة المقاومة للضوء فيما يسمى بعملية الرماد وهي مشابهة في الأساس لتقنية الحفر الجاف.