اذا لم تجد ما تبحث عنه يمكنك استخدام كلمات أكثر دقة.
تستخدم بعض مواد الإكسيمر في إنتاج أشعة الليزر . وهي مواد يمكن إثارة جزيئاتها ، وعندما تعود الجزيئات إلى حالتها القاعية من الطاقة فإنها تصدر موجاتا ضوئية لها طول موجة واحد ، وتلك الموجات هي التي تحتاجها تقنية الليزر. ويقدر زمن الاضمحلال (عودة الإلكترون المثار إلى الحالة الأرضية) عدة نانو ثانية . ويتبوأ ليزر الإكسيمرات مكانا هاما وبصفة خاصة تلك التي تصدر فوتونات في نطاق الأشعة فوق البنفسجية . ويتكون الوسط النشيط لليزر من الفلور F2) 157) نانو متر أو فلوريد الأرجون ArF) 193;nm ) أو فلوريد الكريبتون ( KrF) يعطي أشعة طول موجتها 248 نانو متر أو وكلوريد الزينون (XeCl) 308;nm أو فلوريد الزينون ( XeF) يعطي أشعة طول موجتها351 نانو متر).
وكل تلك الليزرات تستخدم في الطب وفي الحفر الليثوغرافي على المعادن و كذلك لحفر الرقاقات الإلكترونية ,هي مرحلة من مراحل إنتاج نصف الموصلات.