اذا لم تجد ما تبحث عنه يمكنك استخدام كلمات أكثر دقة.
يستخدم المجهر الإلكتروني النافد الماسح إلكترونات تبلغ طاقتها (سرعتها) بين 100 إلكترون فولت إلى 300 إلكترون فولت.
يستغل المجهر الإلكتروني خاصية ازدواجية موجة-جسيم للإلكترون أي تعالج الإلكترون بنفس معالجة الموجات الضوئية حيث تقوم هنا عدسات مغناطيسية مقام العدسات الضوئية المعتادة في تركيز وضبط شعاع الإلكترونات.
وفي هذا المجهر تركز العدسات المغناطيسية شعاع الإلكترونات على العينة. وبغرض تصوير النقطة تلو النقطة من العينة فيجري توجيه شعاع الإلكترونات على العينة عن طريق زوج من المغناطيسات متعامدة على بعضها، بذلك يمكن انحراف الشعاع وتغيير الموضع عبر العينة بدون تغيير زاوية السقوط الابتدائية.
وتصنف الإلكترونات المسجلة بحسب زاوية انكسارها وقدومها من للعينة. ويميز بين الحقل المضيئ Bright Fieldوالحقل المظلم Dark Field، حيث في الحقل المضيئ يقع عدادات الإلكترونات على محور المجهر ويقومون بتسجيل الغلكترونات القادمة بزاوية صغيرة. أما عدادت الإلكترونات الخاصة بالمجال المظلم فيكون توزيعهم دائري حول محور المجهر تحيط كل دائرة الأخرى، فيما يسمى "المجال المظلم كبير الزاوية"
وتتيح إشارة المجال المظلم الكبيرة الزاوية التفرقة بين العناصر عن طريق شدة الإشارة، ذلك لأن تشتت الإلكترونات في تلك الزوايا تتناسب مع مربع العدد الذري للعناصر. كما تتناسب شدة أشارة المجال المظلم الكبيرة الزاوية مع سمك العينة على أن تكون العينة رقيقة مناسبة. ويمكن عن طريق استخدام عدادات الزوايا الكبيرة مع النفاذية خلال العينة تصوير ذرة بمفردها .