كتب accuracy of analysis in projection systems
اذا لم تجد ما تبحث عنه يمكنك استخدام كلمات أكثر دقة.
دقة التحليل في أنظمة الإسقاط (معلومة)
- مقالات مفصلة: Optics#Diffraction and optical resolution
- Diffraction
- Optical resolution
إن القدرة على تكوين صورة واضحة ودقيقة لجسم صغير الابعاد على الشريحة الرقيقة يعتمد أساساً على الطول الموجي للضوء المستخدم وكذلك على مدى استطاعة العدسة البصرية الموضوعة خلف الغطاء الضوئي في تجميع أكبر قدر ممكن من الأشعة الضوئية النافذة منه. وتستخدم أنظمة الطباعة الضوئية الحديثة مصادر ليزر الاكسيمر والتي تبعث أطوال موجية قصيرة المدى تقع في منطقة الأشعة فوق البنفسجية العميقة بين 248 إلى 193 نانومتر، مما يسمح بتكوين أشكال هندسية واضحة ودقيقة ذات أبعاد قد تصل إلى 50 نانومتر على الشريحة. وقد ساهم التطور التقني الهائل في مجالات مصادر ليزر الاكسيمر والأنظمة البصرية في العشرين سنة الأخيرة بدور فعال وحيوي في الحفاظ على التطور المستمر في شكل وأبعاد النماذج الهندسية المصنعة بتقنية الطباعة الضوئية كما تنبأ به قانون مور.
وتصف المعادلة التالية أصغر اتساع صورة شكل ما يمكن طباعتها بدقة ووضوح بواسطة نظام الإسقاط الضوئي على سطح الشريحة الرقيقة:
حيث أصغر اتساع للصورة المتكونة, معامل حسابي يضم جميع عوامل وظروف التشغيل لعملية الطباعة وعادة يساوي 0.4 (يمكن الحصول على اتساع صورة أفضل عن طريق خفض قيمة هذا المعامل باستخدام طرق وأدوات الطباعة الحسابية), الطول الموجي للضوء المستخدم, وتسمى الفتحة العددية للعدسة المستخدمة في إسقاط الأشعة الضوئية على سطح الشريحة وتساوي الطول البؤري للعدسة مقسوماً على قطرها.
وطبقاً للمعادلة السابقة، فإنه يمكن الحصول على أدنى اتساع للصورة المتكونة عن طريق تقليل الطول الموجي وزيادة الفتحة العددية للعدسة. إلا أن الإجراء الأخير يؤدي إلى انخفاض ملحوظ في عمق البؤرة وهي المسافة التي يتحرك فيها شعاع الليزر على سطح الشريحة بدون حدوث تغيير ملحوظ في النتائج. والمعادلة التالية تحسب عمق البؤرة لشعاع ليزري يتم تركيزه بواسطة عدسة:
- خطأ رياضيات (خطأ في الصياغة): {displaystyle D_F = k_2 cdotfrac{lambda}{{غ/م}^2}}
حيث معامل حسابي أخر يعتمد أيضا على عوامل وظروف التشغيل المختلفة. يلاحظ من المعادلة السابقة أن الفتحة العددية موجودة على شكل دالة تربيعية وهذا معناه أن أي زيادة ولو طفيفة تؤدي إلى نقص ملحوظ في عمق البؤرة لان العلاقة عكسية بين الكميتين. وللحصول على أفضل النتائج فإن تقنيات الطباعة الضوئية الحديثة تستخدم طريقة تسمى الصقل الميكانيكي الكيميائي للحصول على أعلى درجة استواء لكلا من المادة المقاومة للضوء وسطح الشريحة الموجودة أسفلها، مما يؤدي إلى تقليل أهمية تأثير عمق البؤرة للأشعة الليزرية على جودة الطباعة.
